|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001872402 |
| 005 |
20240118081616.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20231102d2023 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физические механизмы сухого электронно-лучевого травления
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e специальность 2.2.2 Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств
$f Сидоров Федор Алексеевич
$g [место защиты: МИРЭА ― Российский технологический университет]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2023
|
| 215 |
# |
# |
$a 21 с.
$c ил., цв. ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 19—21
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18382
$a МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ИЗДЕЛИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2790912
$a РЕЗИСТЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39164
$a ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34342
$a ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22676
$a ПАРАМЕТРЫ (физ., техн.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2665900
$a НАНОСТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18306
$a МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-SEK-ar4970524
$a НАНОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2381861
$a МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6891565
$a МИКРОФЛЮИДНЫЕ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35953
$a ФИЗИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 2.2.2
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.48
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.59
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar14556859
$a Сидоров
$b Ф. А.
$g Федор Алексеевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20231102
$g RCR
|
