Физические механизмы сухого электронно-лучевого травления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 2.2.2 Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств / Сидоров Федор Алексеевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//255009(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Сидоров, Ф. А.
Опубликовано: Москва , 2023
Физические характеристики: 21 с. : ил., цв. ил.
Язык: Русский
Предмет:

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
2//255009(039) ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:3:95 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал