|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001872047 |
| 005 |
20231219143336.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20231101d2023 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Математическое моделирование процесса криогенного плазменного травления высокоаспектных микроструктур в кремнии
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e специальность 2.2.2 Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств
$f Руденко Михаил Константинович
$g [место защиты: МИРЭА - Российский технологический университет]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2023
|
| 215 |
# |
# |
$a 23 с., включая обложку
$c цв. ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 21—23
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24602
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2451365
$a ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23669
$a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2113377
$a МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2099420
$a ГЕКСАФТОРИД СЕРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar13410
$a КИСЛОРОД
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a криогенные методы
|
| 610 |
0 |
# |
$a крыагенные метады
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 41.13.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.01.77
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 2.2.2
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar14556087
$a Руденко
$b М. К.
$g Михаил Константинович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20231101
$g RCR
|
