Математическое моделирование процесса криогенного плазменного травления высокоаспектных микроструктур в кремнии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 2.2.2 Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств / Руденко Михаил Константинович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Руденко, М. К. |
| Опубликовано: | Москва , 2023 |
| Физические характеристики: |
23 с., включая обложку : цв. ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||