Двухлучевая лазерная обработка кварца для резонаторов и фотошаблонов субмикронных интегральных микросхем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Соколов Сергей Иванович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Соколов, С. И. |
| Опубликовано: | Минск , 2023 |
| Физические характеристики: |
23 с. : табл., ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||