|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001830894 |
| 005 |
20230524200848.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20230403d2022 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a y m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Высокотемпературные атомные процессы на границе раздела кремний-вакуум при сублимации, эпитаксии, термическом травлении кислородом и осаждении золота
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук
$e специальность 1.3.8 Физика конденсированного состояния
$f Косолобов Сергей Сергеевич
$g [место защиты: Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Сколковский институт науки и технологий]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2022
|
| 215 |
# |
# |
$a 26 с.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 22—26
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3130678
$a ФИЗИКА КОНДЕНСИРОВАННЫХ СРЕД
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35849
$a ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3341921
$a МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4853
$a ВАКУУМ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar88186
$a ГРАНИЦЫ РАЗДЕЛА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2446235
$a ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2105315
$a ВОЗГОНКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3152366
$a ТЕРМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18741
$a МОЛЕКУЛЯРНЫЙ КИСЛОРОД
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar13824121
$a ГОМОЭПИТАКСИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar8902405
$a ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11085
$a ЗОЛОТО
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15206
$a КРИСТАЛЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22114
$a ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1595551
$a ДИФФУЗИОННЫЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17256
$a МАССООБМЕН
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39484
$a ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-br2203367
$a ТОЧЕЧНЫЕ ДЕФЕКТЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1673718
$a ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 1.3.8
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.04
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.09
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.17
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-808214
$a Косолобов
$b С. С.
$g Сергей Сергеевич
$c кандидат физико-математических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20230403
$g RCR
|
