Высокотемпературные атомные процессы на границе раздела кремний-вакуум при сублимации, эпитаксии, термическом травлении кислородом и осаждении золота: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук: специальность 1.3.8 Физика конденсированного состояния / Косолобов Сергей Сергеевич
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Косолобов, С. С. |
Опубликовано: | Москва , 2022 |
Физические характеристики: |
26 с.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|