|
|
|
|
|
00000naa2a22000003ic4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001830756 |
| 005 |
20230331172023.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20230331d2021 wk y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
$d rus
$d eng
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a ac z 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Структура тонкопленочных наноматериалов, применяемых в технологиях микроэлектроники
$d Structure of thin―film nanomaterials used in microelectronics technologies
$z eng
$f М. И. Маркевич [и др.]
|
| 215 |
# |
# |
$c ил.
|
| 300 |
# |
# |
$a Аннотация на русском и английском языках
|
| 304 |
# |
# |
$a Сведения об авторах приведены также в латинской графике
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: 55 назв.
|
| 463 |
# |
0 |
$1 001BY-NLB-br0001702769
$1 2001
$v С 188―207
|
| 510 |
1 |
# |
$a Structure of thin―film nanomaterials used in microelectronics technologies
$z eng
|
| 601 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar198721
$a Физико-технический институт
$c Минск
$2 BY-auth
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar60038
$a МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34092
$a ТОКОПРОВОДЯЩИЕ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15212
$a КРИСТАЛЛИЗАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33558
$a ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2289608
$a НАНОМАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22258
$a ОТЖИГ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15677
$a ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35837
$a ФИЗИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar36847
$a ХИМИЯ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 548.526
$v 4
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.032.27
$v 4
|
| 675 |
# |
# |
$a 001.32: 539.216(476)
$v 4
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 702 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-313424
$a Маркевич
$b М. И.
$g Мария Ивановна
$c доктор физико-математических наук
$f род. 1956
|
| 702 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-190727
$a Чапланов
$b А. М.
$g Аркадий Михайлович
$c доктор физико-математических наук
$c кандидат технических наук
$f род. 1940
|
| 702 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-325401
$a Обухов
$b В. Е.
$g Вячеслав Евгеньевич
$c кандидат технических наук
|
| 702 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-184294
$a Зеленин
$b В. А.
$g Виктор Алексеевич
$c доктор технических наук
$f род. 1941
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20230126
$g RCR
|
