Структура тонкопленочных наноматериалов, применяемых в технологиях микроэлектроники / М. И. Маркевич [и др.] // Современные методы и технологии создания и обработки материалов : сборник научных трудов : в 2 кн. / Государственное научное учреждение "Физико-технический институт Национальной академии наук Беларуси". — Минск, 2021. — Кн. 1 : Новые технологии и материалы. — С 188―207
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Физические характеристики: |
: ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||