Разработка системы подачи вязких высококипящих реагентов для процессов химического осаждения из газовой фазы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 2.2.3 Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники / Клейманов Роман Валерьевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Клейманов, Р. В. |
| Опубликовано: | Санкт-Петербург , 2023 |
| Физические характеристики: |
23 с. : цв. ил., табл.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||