Теоретическое и экспериментальное исследование микросферной фотолитографии на подложках кремния для селективной эпитаксии полупроводниковых структур: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 1.3.2 (01.04.01) Приборы и методы экспериментальной физики / Дворецкая Лилия Николаевна

Сохранено в:
Шифр документа: 2//249666(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Дворецкая, Л. Н.
Опубликовано: Санкт-Петербург , 2022
Физические характеристики: 20 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001800549
005 20230123100320.0
100 # # $a 20221109d2022 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Теоретическое и экспериментальное исследование микросферной фотолитографии на подложках кремния для селективной эпитаксии полупроводниковых структур  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 1.3.2 (01.04.01) Приборы и методы экспериментальной физики  $f Дворецкая Лилия Николаевна  $g [Санкт-Петербургский национальный исследовательский академический университет им. Ж. И. Алферова Российской академии наук] 
210 # # $a Санкт-Петербург  $d 2022 
215 # # $a 20 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 19—20 
606 0 # $3 BY-NLB-ar38718  $a ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ФИЗИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar85256  $a ФОТОЛИТОГРАФИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4100500  $a МИКРОСФЕРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2685016  $a КРЕМНИЕВЫЕ ПОДЛОЖКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2282245  $a МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4314591  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.19.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.16  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.22  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 1.3.2  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar14344624  $a Дворецкая  $b Л. Н.  $g Лилия Николаевна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20221109  $g RCR