|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001800549 |
| 005 |
20230123100320.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20221109d2022 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Теоретическое и экспериментальное исследование микросферной фотолитографии на подложках кремния для селективной эпитаксии полупроводниковых структур
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e специальность 1.3.2 (01.04.01) Приборы и методы экспериментальной физики
$f Дворецкая Лилия Николаевна
$g [Санкт-Петербургский национальный исследовательский академический университет им. Ж. И. Алферова Российской академии наук]
|
| 210 |
# |
# |
$a Санкт-Петербург
$d 2022
|
| 215 |
# |
# |
$a 20 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 19—20
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar38718
$a ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ФИЗИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar85256
$a ФОТОЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4100500
$a МИКРОСФЕРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2685016
$a КРЕМНИЕВЫЕ ПОДЛОЖКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2282245
$a МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4314591
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.22
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 1.3.2
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar14344624
$a Дворецкая
$b Л. Н.
$g Лилия Николаевна
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20221109
$g RCR
|
