Теоретическое и экспериментальное исследование микросферной фотолитографии на подложках кремния для селективной эпитаксии полупроводниковых структур: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 1.3.2 (01.04.01) Приборы и методы экспериментальной физики / Дворецкая Лилия Николаевна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Дворецкая, Л. Н. |
| Опубликовано: | Санкт-Петербург , 2022 |
| Физические характеристики: |
20 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||