Плазменные процессы роста и травления нитридных материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.08 Физика плазмы / Барсуков Юрий Владимирович
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Барсуков, Ю. В. |
| Publicado: | Санкт-Петербург , 2022 |
| Descripción Física: |
24 с. : ил., табл.
|
| Lenguaje: | Русский |
| Materias: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||