Плазменные процессы роста и травления нитридных материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.08 Физика плазмы / Барсуков Юрий Владимирович
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Барсуков, Ю. В. |
| Published: | Санкт-Петербург , 2022 |
| Physical Description: |
24 с. : ил., табл.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||