Плазменные процессы роста и травления нитридных материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.08 Физика плазмы / Барсуков Юрий Владимирович
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Барсуков, Ю. В. |
| Veröffentlicht: | Санкт-Петербург , 2022 |
| Beschreibung: |
24 с. : ил., табл.
|
| Sprache: | Русский |
| Schlagworte: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||