Плазменные процессы роста и травления нитридных материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.08 Физика плазмы / Барсуков Юрий Владимирович
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Барсуков, Ю. В. |
| Апублікавана: | Санкт-Петербург , 2022 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
24 с. : ил., табл.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||