|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001759171 |
| 005 |
20220721151544.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20220401d2022 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Плазменные процессы роста и травления нитридных материалов
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e специальность 01.04.08 Физика плазмы
$f Барсуков Юрий Владимирович
$g Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
|
| 210 |
# |
# |
$a Санкт-Петербург
$d 2022
|
| 215 |
# |
# |
$a 24 с.
$c ил., табл.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 23—24 (26 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35847
$a ФИЗИКА ПЛАЗМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34342
$a ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar20812
$a НИТРИД КРЕМНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4407
$a НИТРИД БОРА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1790749
$a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЙ СИНТЕЗ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4053840
$a НАНОТРУБКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6836
$a ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ПЛАЗМА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar7358508
$a ЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.27.43
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.27.51
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.08
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-167698
$a Барсуков
$b Ю. В.
$g Юрий Владимирович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20220401
$g RCR
|
