Модифицирование структуры и химического состава кремния и стекла при ионном облучении и ионно-плазменном осаждении металлических пленок (Ti, Co, Mo): автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Михалкович Олег Михайлович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Н//244482(039), 2Н//244809(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Михалкович, О. М.
Опубликовано: Минск , 2022
Физические характеристики: 26 с. : ил., табл.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001750767
005 20220902141610.0
100 # # $a 20220222d2022 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus  $d eng  $d bel  $d rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Модифицирование структуры и химического состава кремния и стекла при ионном облучении и ионно-плазменном осаждении металлических пленок (Ti, Co, Mo)  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния  $f Михалкович Олег Михайлович  $g Белорусский государственный университет 
210 # # $a Минск  $d 2022 
215 # # $a 26 с.  $c ил., табл. 
300 # # $a Резюме параллельно на русском, белорусском, английском языках 
311 # # $a В фонде НББ имеется диссертация 
320 # # $a Библиография: с. 17—23 (41 назв.) 
488 # 1 $1 001BY-NLB-br0001780595 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3130678  $a ФИЗИКА КОНДЕНСИРОВАННЫХ СРЕД  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar60038  $a МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12168  $a ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24113  $a ПОДЛОЖКИ (электроника)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar31993  $a СТЕКЛО  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-SEK-ar1638614  $a МОДИФИЦИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТЕЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3130309  $a ИОННОЕ ОБЛУЧЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14198465  $a ИОННОЕ АССИСТИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 538.97(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 539.234:533.924-113(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 29.19.03  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.16  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.21  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.27.51  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.07  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar14179728  $a Михалкович  $b О. М.  $g Олег Михайлович  $c кандидат физико-математических наук 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar167094  $a Белорусский государственный университет  $c Минск  $4 995 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar2337251  $a Белорусский государственный педагогический университет имени Максима Танка  $c Минск  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20220222  $g RCR 
830 # # $a 04.03.2022