Модифицирование структуры и химического состава кремния и стекла при ионном облучении и ионно-плазменном осаждении металлических пленок (Ti, Co, Mo): автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Михалкович Олег Михайлович
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Михалкович, О. М. |
Опубликовано: | Минск , 2022 |
Физические характеристики: |
26 с. : ил., табл.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|