Физико-технологические принципы создания катодно-подогревательных узлов магнетронов с мгновенным временем готовности: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Ли Илларион Павлович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ли, И. П. |
| Опубликовано: | Москва , 2021 |
| Физические характеристики: |
35 с., включая обложку : ил., цв. ил., табл.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||