|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
001 |
BY-NLB-br0001701957 |
005 |
20211104160255.0 |
100 |
# |
# |
$a 20210607d2021 k y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Особенности формирования AIN на подложке сапфира в процессе нитридизации методом молекулярно-лучевой эпитаксии
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e специальность 01.04.10 Физика полупроводников
$f Милахин Денис Сергеевич
$g [Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук]
|
210 |
# |
# |
$a Новосибирск
$d 2021
|
215 |
# |
# |
$a 32 с.
$c ил., табл.
|
320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 29—32
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2749267
$a ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar7368
$a ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2326536
$a САПФИРЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33420
$a ТЕПЛОВЫЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar36799
$a ХИМИЧЕСКАЯ КИНЕТИКА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39622
$a ЭПИТАКСИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2899203
$a КРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23916
$a ПОВЕРХНОСТНЫЕ ЯВЛЕНИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2420285
$a БЫСТРЫЕ ЭЛЕКТРОНЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6649952
$a ДИФРАКЦИЯ ЭЛЕКТРОНОВ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4048642
$a БУФЕРНЫЕ СЛОИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar26877
$a РАДИАЦИОННЫЕ ЭФФЕКТЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1923959
$a РЕКОНСТРУКЦИЯ ПОВЕРХНОСТИ
$2 DVNLB
|
610 |
0 |
# |
$a нитридизация
|
610 |
0 |
# |
$a нітрыдызацыя
|
686 |
# |
# |
$a 01.04.10
$2 oksvnk
|
686 |
# |
# |
$a 29.19.31
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 29.19.09
$v 6
$2 rugasnti
|
700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar14008421
$a Милахин
$b Д. С.
$g Денис Сергеевич
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20210607
$g RCR
|