Особенности формирования AIN на подложке сапфира в процессе нитридизации методом молекулярно-лучевой эпитаксии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.10 Физика полупроводников / Милахин Денис Сергеевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//240123(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Милахин, Д. С.
Опубликовано: Новосибирск , 2021
Физические характеристики: 32 с. : ил., табл.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001701957
005 20211104160255.0
100 # # $a 20210607d2021 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Особенности формирования AIN на подложке сапфира в процессе нитридизации методом молекулярно-лучевой эпитаксии  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 01.04.10 Физика полупроводников  $f Милахин Денис Сергеевич  $g [Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук] 
210 # # $a Новосибирск  $d 2021 
215 # # $a 32 с.  $c ил., табл. 
320 # # $a Библиография: с. 29—32 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2749267  $a ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7368  $a ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2326536  $a САПФИРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33420  $a ТЕПЛОВЫЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36799  $a ХИМИЧЕСКАЯ КИНЕТИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39622  $a ЭПИТАКСИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2899203  $a КРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23916  $a ПОВЕРХНОСТНЫЕ ЯВЛЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2420285  $a БЫСТРЫЕ ЭЛЕКТРОНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6649952  $a ДИФРАКЦИЯ ЭЛЕКТРОНОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4048642  $a БУФЕРНЫЕ СЛОИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar26877  $a РАДИАЦИОННЫЕ ЭФФЕКТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1923959  $a РЕКОНСТРУКЦИЯ ПОВЕРХНОСТИ  $2 DVNLB 
610 0 # $a нитридизация 
610 0 # $a нітрыдызацыя 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
686 # # $a 29.19.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.09  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar14008421  $a Милахин  $b Д. С.  $g Денис Сергеевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20210607  $g RCR