Формирование тонкопленочных изолирующих слоев с высокой диэлектрической проницаемостью для интегральных МДП структур реактивным магнетронным распылением: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Вилья Пинеда Номар Альберто
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Вилья Пинеда, Н. А. |
| Wydane: | Минск , 2020 |
| Opis fizyczny: |
156 л. : ил., табл.
|
| Język: | Русский |
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: |
E-документ
|
Зал диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Без заказа | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||