|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001646358 |
| 005 |
20201113121453.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20200921d2020 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Развитие физико-химических принципов оценки влияния поверхностной энергии на свойства материалов и процессы для технологии микроэлектроники
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Бокарев Валерий Павлович
$g [Научно-исследовательский институт молекулярной электроники]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2020
|
| 215 |
# |
# |
$a 38 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 30—38 (103 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar7358508
$a ЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24588
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2899203
$a КРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1723116
$a ПОВЕРХНОСТНАЯ ЭНЕРГИЯ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.29
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar13831555
$a Бокарев
$b В. П.
$g Валерий Павлович
$c кандидат химических наук
$c поэт
$f род. 1950
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20200921
$g RCR
|
