Развитие физико-химических принципов оценки влияния поверхностной энергии на свойства материалов и процессы для технологии микроэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Бокарев Валерий Павлович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Бокарев, В. П. (род. 1950) |
| Опубликовано: | Москва , 2020 |
| Физические характеристики: |
38 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||