|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001602659 |
| 005 |
20200215140757.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20200109d2019 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Резистивное переключение в структурах металл-изолятор-металл на основе оксида гафния и оксида тантала, формируемых атомно-слоевым осаждением
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e специальность 01.04.04 Физическая электроника
$f Егоров Константин Викторович
$g [Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет)]
|
| 210 |
# |
# |
$a Долгопрудный
$d 2019
|
| 215 |
# |
# |
$a 22 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 21—22
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35913
$a ФИЗИЧЕСКАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18028
$a МЕТАЛЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2255189
$a ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ИЗОЛЯТОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar9575
$a ДИЭЛЕКТРИКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar32909
$a ТАНТАЛ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6976
$a ГАФНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar8169841
$a ОСАЖДЕНИЕ АТОМНЫХ СЛОЕВ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar88186
$a ГРАНИЦЫ РАЗДЕЛА
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.04
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.37
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar13671648
$a Егоров
$b К. В.
$g Константин Викторович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20200109
$g RCR
|
