|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001587853 |
| 005 |
20191214115938.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20191030d2019 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Анализ потоков ионов из ВЧ газового разряда, используемого для процессов модификации поверхности твердого тела
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e специальность 01.04.04 Физическая электроника
$f Кобелев Антон Андреевич
$g [Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого]
|
| 210 |
# |
# |
$a Санкт-Петербург
$d 2019
|
| 215 |
# |
# |
$a 24 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 23—24 (19 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35913
$a ФИЗИЧЕСКАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35847
$a ФИЗИКА ПЛАЗМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23655
$a ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-SEK-ar1638614
$a МОДИФИЦИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТЕЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6836
$a ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ПЛАЗМА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6590
$a ВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ РАЗРЯДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22890
$a ПОТОКИ ЧАСТИЦ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12192
$a ИОНЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar20166
$a НЕЙТРАЛЬНЫЕ ЧАСТИЦЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar37871
$a ЧИСЛЕННЫЙ АНАЛИЗ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.27.51
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.27.43
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.27.45
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.01.77
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.04
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar13625296
$a Кобелев
$b А. А.
$g Антон Андреевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20191030
$g RCR
|
