Анализ потоков ионов из ВЧ газового разряда, используемого для процессов модификации поверхности твердого тела: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.04 Физическая электроника / Кобелев Антон Андреевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Кобелев, А. А. |
| Опубликовано: | Санкт-Петербург , 2019 |
| Физические характеристики: |
24 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||