Моделирование ионно-лучевого легирования гетероструктур "кремний на сапфире" и облучения нейтронами гетероструктур с наноостровками Ge(Si): автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.10 Физика полупроводников / Скупов Антон Владимирович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//230385(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Скупов, А. В.
Опубликовано: Нижний Новгород , 2019
Физические характеристики: 23 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001585514
005 20200225164210.0
100 # # $a 20191021d2019 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a y m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Моделирование ионно-лучевого легирования гетероструктур "кремний на сапфире" и облучения нейтронами гетероструктур с наноостровками Ge(Si)  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 01.04.10 Физика полупроводников  $f Скупов Антон Владимирович  $g [Российский федеральный ядерный центр – Всероссийский научно-исследовательский институт экспериметальной физики] 
210 # # $a Нижний Новгород  $d 2019 
215 # # $a 23 с. 
320 # # $a Библиография: с. 21—23 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2749267  $a ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18851  $a МОНОКРИСТАЛЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar8902405  $a ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7368  $a ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2326536  $a САПФИРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar25538  $a ПРИМЕСИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar26909  $a РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12162  $a ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4008110  $a ГОМОГЕНИЗИРУЮЩИЙ ОТЖИГ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15827  $a ЛЕГИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35619  $a ФАЗОВЫЙ СОСТАВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2113377  $a МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
686 # # $a 29.19.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.22  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.21  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.03.77  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar13617676  $a Скупов  $b А. В.  $g Антон Владимирович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20191021  $g RCR