Моделирование ионно-лучевого легирования гетероструктур "кремний на сапфире" и облучения нейтронами гетероструктур с наноостровками Ge(Si): автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.10 Физика полупроводников / Скупов Антон Владимирович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Скупов, А. В. |
| Опубликовано: | Нижний Новгород , 2019 |
| Физические характеристики: |
23 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||