Водные композиции наноразмерных частиц диоксида кремния для химико-механической полировки пластин монокристаллического кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.16.08 Нанотехнологии и наноматериалы / Косенок Янина Александровна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Косенок, Я. А. (род. 1978) |
| Опубликовано: | Минск , 2019 |
| Физические характеристики: |
25 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||