|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001553552 |
| 005 |
20191009151235.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20190517d2019 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Конструктивно-технологические основы создания инерциальных микроэлектромеханических систем
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук
$e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
$f Тимошенков Алексей Сергеевич
$g [Московский институт электронной техники]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2019
|
| 215 |
# |
# |
$a 39 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 34—39 (56 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar25418
$a ПРИБОРОСТРОЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2381861
$a МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1992514
$a МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4754430
$a ДАТЧИКИ МЕХАНИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1913019
$a МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ АКСЕЛЕРОМЕТРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1912814
$a МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ГИРОСКОПЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3321655
$a КОНСТРУКТИВНЫЕ РЕШЕНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33866
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a инерциальные приборы
|
| 610 |
0 |
# |
$a інэрцыяльныя прыборы
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.14.07
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 59.31.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 59.14.19
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 59.14.21
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar5020459
$a Тимошенков
$b А. С.
$g Алексей Сергеевич
$c доктор технических наук
$f род. 1985
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20190517
$g RCR
|
