Конструктивно-технологические основы создания инерциальных микроэлектромеханических систем: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Тимошенков Алексей Сергеевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Тимошенков, А. С. (род. 1985) |
| Опубликовано: | Москва , 2019 |
| Физические характеристики: |
39 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||