Разработка и исследование технологических основ формирования нанокристаллических пленок LiNbO3 методом импульсного лазерного осаждения для пьезоэлектрических преобразователей: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Вакулов Захар Евгеньевич
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Вакулов, З. Е. |
Опубликовано: | Таганрог , 2019 |
Физические характеристики: |
23 с. : ил., табл.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|