Моделирование электрофизических свойств и технологических маршрутов изготовления интегральных полупроводниковых приборных структур: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Лагунович Наталия Леонидовна

Сохранено в:
Шифр документа: 26Н//6929(039), ##32Н//411629CD(055),
Вид документа: Диссертации
Автор: Лагунович, Н. Л. (род. 1972)
Опубликовано: Минск , 2018
Физические характеристики: 154 л. : ил., табл.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cbm0a2200000 id4500
001 BY-NLB-br0001539970
005 20220412161931.0
100 # # $a 20190321h20182018k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ab  $a aa 
200 1 # $a Моделирование электрофизических свойств и технологических маршрутов изготовления интегральных полупроводниковых приборных структур  $e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах  $f Лагунович Наталия Леонидовна  $g научные руководители: Борздов В. М., Турцевич А. С.  $g Белорусский государственный университет, Открытое акционерное общество "Интеграл" – Управляющая компания холдинга "Интеграл" 
210 # # $a Минск  $d 2018 
215 # # $a 154 л.  $c ил., табл. 
320 # # $a Библиография: л. 130—146 
328 # 0 $d Защищена 16.10.2018, утверждена 23.01.2019 
333 # # $a Электронная копия размещена с разрешения автора 
488 # 0 $1 001BY-NLB-br0001492705 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24592  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33874  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33930  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ МАРШРУТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39284  $a ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33888  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ПРОЕКТИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar37857  $a ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14264  $a КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3:658.512:004.94(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.01.77  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 81.14.01  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 28.17.33  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar13333262  $a Лагунович  $b Н. Л.  $g Наталия Леонидовна  $c кандидат технических наук, электроника  $f род. 1972 
702 # 1 $3 BY-SEK-324538  $a Борздов  $b В. М.  $g Владимир Михайлович  $f род. 1954  $4 727 
702 # 1 $3 BY-NLB-ar2502584  $a Турцевич  $b А. С.  $g Аркадий Степанович  $c доктор технических наук  $f род. 1958  $4 727 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar2380680  $a Институт физики имени Б. И. Степанова  $c Минск  $4 995 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar7184106  $a "Интеграл" — управляющая компания холдинга "Интеграл"  $g открытое акционерное общество  $c Минск  $4 595 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar167094  $a Белорусский государственный университет  $c Минск  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20180918  $g RCR 
856 4 # $u http://dep.nlb.by/jspui/bitstream/nlb/54869/2/default.html