Моделирование электрофизических свойств и технологических маршрутов изготовления интегральных полупроводниковых приборных структур: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Лагунович Наталия Леонидовна
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Лагунович, Н. Л. (род. 1972) |
Опубликовано: | Минск , 2018 |
Физические характеристики: |
154 л. : ил., табл.
|
Язык: | Русский |
Предмет: | |
Е-документ: |
E-документ
|
Зал диссертаций
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Без заказа | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|