|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001532635 |
| 005 |
20190529162500.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20190220d2019 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Оптимизация технологии лазерного скрайбирования в производстве тонкопленочных солнечных модулей на основе аморфного и микрокристаллического кремния
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Егоров Федор Сергеевич
$g [Чувашский государственный университет им. И. Н. Ульянова]
|
| 210 |
# |
# |
$a Санкт-Петербург
$d 2019
|
| 215 |
# |
# |
$a 19 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 16—19 (21 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar7358508
$a ЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2775397
$a СОЛНЕЧНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1659663
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4914454
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6726825
$a ГИДРИРОВАННЫЙ АМОРФНЫЙ КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3341921
$a МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2673442
$a СКРАЙБИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15677
$a ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.35
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 44.37.29
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar13454983
$a Егоров
$b Ф. С.
$g Федор Сергеевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20190220
$g RCR
|
