Оптимизация технологии лазерного скрайбирования в производстве тонкопленочных солнечных модулей на основе аморфного и микрокристаллического кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Егоров Федор Сергеевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Егоров, Ф. С. |
| Опубликовано: | Санкт-Петербург , 2019 |
| Физические характеристики: |
19 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||