Формирование a-C:H:SiOx пленок методом плазмохимического осаждения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 01.04.04 Физическая электроника / Гренадёров Александр Сергеевич
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Гренадеров, А. С. |
| 出版: | Томск , 2018 |
| 實物描述: |
20 с. : ил.
|
| 語言: | Русский |
| 主題: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||