Ионно-плазменные источники в технологии микроэлектронных приборов: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1965―1981 гг.) / А. Г. Денисов, Е. Я. Черняк, А. А. Козлов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Денисов, А. Г. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1982 |
| Физические характеристики: |
64 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1982, вып. 14 |
Загрузка