Ионно-плазменные источники в технологии микроэлектронных приборов: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1965―1981 гг.) / А. Г. Денисов, Е. Я. Черняк, А. А. Козлов

Сохранено в:
Шифр документа: 182768-14,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Денисов, А. Г.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1982
Физические характеристики: 64 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1982, вып. 14

1982, Вып.14: Ионно-плазменные источники в технологии... / Денисов А. Г.

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
182768-14 ОФХ журналов и продолжающихся изданий (050) 14:2 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал