Ионно-плазменные источники в технологии микроэлектронных приборов: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1965―1981 гг.) / А. Г. Денисов, Е. Я. Черняк, А. А. Козлов
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Денисов, А. Г. |
Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1982 |
Физические характеристики: |
64 с. : ил. ; 21 см
|
Язык: | Русский |
Серия: |
Обзоры по электронной технике
1982, вып. 14 |
1982, Вып.14: Ионно-плазменные источники в технологии... / Денисов А. Г.
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|