|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001467489 |
| 005 |
20180504104040.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180504d1982 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Ионно-плазменные источники в технологии микроэлектронных приборов
$e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1965―1981 гг.)
$f А. Г. Денисов, Е. Я. Черняк, А. А. Козлов
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1982
|
| 215 |
# |
# |
$a 64 с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$h Серия 7
$i Технология, организация производства и оборудование
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1982, вып. 14
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 60―64 (62 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$a 1850 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br119311
$1 2001
$v 1982, вып. 14
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-193724
$a Денисов
$b А. Г.
|
| 701 |
# |
1 |
$a Черняк
$b Е. Я.
$g Евгений Яковлевич
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-448495
$a Козлов
$b А. А.
$g Александр Анатольевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20180504
$g psbo
|
