Низкотемпературное нанесение пленок нитридов кремния и алюминия реактивным распылением в вакууме: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1979―1989 гг.) / Л. А. Сейдман
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сейдман, Л. А. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1990 |
| Физические характеристики: |
52 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1990, вып. 5 |
1990, Вып.5: Низкотемпературное нанесение пленок... / Сейдман Л. А.
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||