Техника плазмохимической обработки в производстве интегральных схем: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1979 гг.) / [В. И. Иванов и др.]
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Иванов, В. И. |
| 出版: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1979 |
| 實物描述: |
67 с. : ил. ; 21 см
|
| 語言: | Русский |
| 叢編: |
Обзоры по электронной технике
1979, вып. 18 |
1979, Вып.18: Техника плазмохимической обработки в производстве...
| Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||