Техника плазмохимической обработки в производстве интегральных схем: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1979 гг.) / [В. И. Иванов и др.]
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Иванов, В. И. |
| Апублікавана: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1979 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
67 с. : ил. ; 21 см
|
| Мова: | Руская |
| Серыя: |
Обзоры по электронной технике
1979, вып. 18 |
1979, Вып.18: Техника плазмохимической обработки в производстве...
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||