Техника плазмохимической обработки в производстве интегральных схем: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1979 гг.) / [В. И. Иванов и др.]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Иванов, В. И. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1979 |
| Физические характеристики: |
67 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1979, вып. 18 |
Загрузка