Анализ путей развития оборудования для нанесения тонких пленок в вакууме. Ч. 2: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1967―1977 гг.) / [С. А. Ашинов и др.]
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Ашинов, С. А. |
| Апублікавана: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1978 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
68, [1] с. : ил. ; 21 см
|
| Мова: | Руская |
| Серыя: |
Обзоры по электронной технике
1978, вып. 13 |
1978, Вып.13: Анализ путей развития оборудования для нанесения тонких... Ч.2
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||