Анализ путей развития оборудования для нанесения тонких пленок в вакууме. Ч. 2: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1967―1977 гг.) / [С. А. Ашинов и др.]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ашинов, С. А. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1978 |
| Физические характеристики: |
68, [1] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1978, вып. 13 |
1978, Вып.13: Анализ путей развития оборудования для нанесения тонких... Ч.2
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||