Анализ путей развития оборудования для нанесения тонких пленок в вакууме. Ч. 2: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1967―1977 гг.) / [С. А. Ашинов и др.]

Сохранено в:
Шифр документа: 153617-13,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Ашинов, С. А.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1978
Физические характеристики: 68, [1] с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1978, вып. 13
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001466258
005 20180428100920.0
100 # # $a 20180428d1977 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Анализ путей развития оборудования для нанесения тонких пленок в вакууме. Ч. 2  $i Технологический процесс изготовления тонких пленок - основа проектирования УВН  $e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1967―1977 гг.)  $f [С. А. Ашинов и др.] 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1978 
215 # # $a 68, [1] с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $h Серия 7  $i Технология, организация производства и оборудование  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1978, вып. 13 
304 # # $a Авторы указаны на обложке 
320 # # $a Библиография: с. 36―39 (74 назв.) 
345 # # $9 1830 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br119311  $1 2001   $v 1978, вып. 13 
700 # 1 $3 BY-SEK-689257  $a Ашинов  $b С. А.  $g Сергей Ауесович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20180428  $g psbo 

Схожие документы