Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung / Hans-Ullrich Poll [et al.]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
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| Опубликовано: | Karl-Marx-Stadt : Technische Hochschule , 1985 |
| Физические характеристики: |
[2], II, 73 с. : іл. ; 21 см
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| Язык: | Немецкий |
| Серия: |
Wissenschaftliche Schriftenreihe der Technischen Hochschule Karl-Marx-Stadt
4/1985 |
1985, №4: Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaatzen...
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