Моделирование технологических процессов микроэлектроники: [сборник статей] / главный редактор К. А. Валиев
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Published: | Москва : Наука , 1992 |
| Physical Description: |
117, [3] с. : граф., схемы, табл. ; 24 см
|
| Language: | Russian |
| Series: |
Труды ФТИАН
т. 3 |
1992, Т.3: Моделирование технологических процессов микроэлектроники
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||